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工藝

在靶材上如何應用熱噴涂呢

發表時間:2019-12-27   責任編輯:admin   

  靶材的大尺寸及高應用率曾經是目前鍍膜范疇的新趨向。等離子噴涂的諸多特性,恰恰在制造大尺寸及高應用率的靶材方面表現出了得天獨厚的優勢,等離子噴涂的焰流溫度高,熱量集中,簡直能消融一切高熔點的粉末資料。
 

 
  能夠依據工件外表性能請求制備出各種性能的涂層,等離子焰流放射速度高,能使粉末取得較大的動能和較高的溫度,涂層與基體分離強度高,噴涂層平整潤滑,厚度準確可控,直接停止精加工即可取得產品,是一種近凈成形制備辦法,儉省資料。
 
  特別合適貴重金屬涂層及靶材的制備,等離子噴涂經過采用真空密閉,通入復原性氣體、惰性氣體維護等辦法,可取得氧含量低、雜質少的涂層,采用高能等離子噴涂設備,粉末堆積率高,堆積速度快,可取得較厚的涂層,這是制備濺射靶材的重要保證。
 
  但是世間萬物沒有一種是十全十美的,等離子噴涂在制備靶材方面也是有一點需求改善的:那就是涂層組織的多孔性。以熱噴涂管靶為例,其顯微組織為圓餅狀扁平細晶粒,晶粒取向平行于旋轉軸方向,靶材內有大量微米級孔洞。
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